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近日，由上海市計測院承擔(dān)的上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局科技計劃項目《亞微米尺度顆粒/薄膜能譜成分定量分析方法研究》（項目編號：2014-02）順利通過專家驗收。
掃描電子顯微鏡配備的能譜儀是快速、準(zhǔn)確獲得材料微區(qū)成分的主要手段。隨著亞微米尺度材料的廣泛研究，結(jié)合場發(fā)射電鏡及能譜儀的發(fā)展技術(shù)，《亞微米尺度顆粒/薄膜能譜成分定量分析方法研究》項目組通過降低掃描電鏡加速電壓，減少電子束擴散范圍，并以蒙特卡羅法模擬低電壓下電子束的運動軌跡，從而確定合適的低加速電壓。同時建立常見元素的低加速電壓EDS標(biāo)準(zhǔn)譜圖庫，解決低加速電壓EDS標(biāo)準(zhǔn)譜圖數(shù)據(jù)庫缺失的問題，并建立了亞微米尺度單顆粒、薄膜的吸收修正模型，優(yōu)化低加速電壓下的定量校準(zhǔn)方法。項目組發(fā)表文章4篇，根據(jù)項目研究方向建立了相應(yīng)檢測方法，通過了新項目評審。
該項目成果彌補亞微米尺度能譜定性定量分析的空白，為亞微米尺度材料微區(qū)成分分析提供了技術(shù)支撐。將項目的研究成果應(yīng)用于陶瓷固相反應(yīng)燒結(jié)機理研究中，可以有效的進(jìn)行反應(yīng)機理研究，提高工作效率；將項目的研究成果應(yīng)用于無損情況下確定鍍層厚度研究中，可以快速、準(zhǔn)確地確定鍍層厚度，降低測試成本。
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